Influence of the negative R.F. bias voltage on the structural, mechanical and electrical properties of Hf–C–N coatings
PBN-AR
Instytucja
Centrum Nanobiomedyczne (Uniwersytet im. Adama Mickiewicza w Poznaniu)
Źródłowe zdarzenia ewaluacyjne
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
en
Czasopismo
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
ISSN
0257-8972
EISSN
Wydawca
ELSEVIER SCIENCE SA
DOI
URL
Rok publikacji
2016
Numer zeszytu
Strony od-do
251-255
Numer tomu
286
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
Słowa kluczowe
en
Amorphous films
Bias voltage
Carbon
Conductive films
Crystalline materials
Hafnium
Hard coatings
Hardness
Magnetrons
Mechanical properties
Scanning electron microscopy
Sputter deposition
X ray diffraction
Amorphous structures
Chemical compositions
Crystalline structure
Electrically conductive
Hafnium carbonitride
Magnetron co-sputtering
Mechanical and electrical properties
Silicon substrates
X ray photoelectron spectroscopy
Streszczenia
Język
en
Treść
In this work Hf–C–N coatings were deposited on silicon substrates by reactive R.F. magnetron co-sputtering from two hafnium and carbon targets in a reactive nitrogen atmosphere at various negative bias voltages from 0 to 150 V. The effect of the bias voltage on the chemical composition, crystalline structure and mechanical properties was studied by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, X-ray diffraction (XRD) and nanoindentation. The results show that the obtained films have a Hf/(C + N) ratio of around 1 and present an evolution with the bias voltage from a quasi-amorphous structure, with a low hardness (6 GPa) to crystalline Hf2CN films with a high hardness (23 GPa) and electrical resistivity values in the order of 104 Ω·cm− 1. This study shows the potential for hard and electrically conductive Hf–C–N films in industrial applications. © 2015 Elsevier B.V.
Cechy publikacji
Original article
Original article presents the results of original research or experiment.
Oryginalny artykuł naukowy
Oryginalny artykuł naukowy przedstawia rezultaty oryginalnych badań naukowych lub eksperymentu.
Inne
System-identifier
PBN-R:873944
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych