Cienkie warstwy ZnO wytwarzane techniką magnetronowego rozpylania katodowego: mikrostruktura i funkcjonalność
PBN-AR
Instytucja
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Książka
Tytuł książki
XIII Krajowa Konferencja Elektroniki. Materiały konferencji
Data publikacji
2014
ISBN
9788393471218
Wydawca
Publikacja
Główny język publikacji
pl
Tytuł rozdziału
Cienkie warstwy ZnO wytwarzane techniką magnetronowego rozpylania katodowego: mikrostruktura i funkcjonalność
Rok publikacji
2014
Strony (od-do)
266-272
Numer rozdziału
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0,6
Hasło encyklopedyczne
Słowa kluczowe
pl
Tlenek cynku, ZnO, magnetronowe rozpylanie katodowe, cienkie warstwy porowate
Konferencja
Indeksowana w Scopus
nie
Indeksowana w Web of Science Core Collection
nie
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
Nazwa konferencji
XIII Krajowa Konferencja Elektroniki
Początek konferencji
2014-06-09
Koniec konferencji
2014-06-13
Lokalizacja konferencji
Darłówko Wschodnie
Kraj konferencji
PL
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Streszczenia
Język
pl
Treść
Opisano możliwości kontroli mikrostruktury i funkcjonalności cienkich warstw ZnO jakie wynikają z zastosowania do ich wytwarzania najnowszej generacji rozwiązań dla magnetronowego rozpylania katodowego. Omówiony został wpływ ciśnienia całkowitego mieszaniny gazów roboczych, stosunku przepływu tlenu do argonu w mieszaninie oraz temperatury podłoża podczas wzrostu warstw na ich mikrostrukturę. Przedyskutowana została także kwestia wprowadzania buforów czy warstw nukleacyjnych podczas wzrostu materiału. Zaprezentowano cienkie warstwy o konwencjonalnej kolumnowej mikrostrukturze jak również o mikrostrukturze monokrystalicznej pozbawionej kolumn oraz jedyne na świecie warstwy o strukturze nanoporowatej wytworzone na drodze magnetronowego rozpylania katodowego wraz z ich zastosowaniami.
Cechy publikacji
CHAPTER_IN_A_BOOK
Inne
System-identifier
601707