Wpływ parametrów technologicznych na rozdzielczość struktur testowych Ti/Au wytwarzanych w procesie litografii elektronowej
PBN-AR
Instytucja
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki (Politechnika Wrocławska)
Książka
Tytuł książki
Nauki techniczne i inżynieryjne. T. 1
Data publikacji
2015
ISBN
9788394208318
Wydawca
Młodzi Naukowcy
Publikacja
Główny język publikacji
pol
Tytuł rozdziału
Wpływ parametrów technologicznych na rozdzielczość struktur testowych Ti/Au wytwarzanych w procesie litografii elektronowej
Rok publikacji
2015
Strony (od-do)
59-63
Numer rozdziału
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0,5
Hasło encyklopedyczne
Autorzy
(liczba autorów: 1)
Słowa kluczowe
pol
litografia elektronowa
lift-off
ANOVA
mikroelektronika
Inne
System-identifier
000202318