Closed-loop surface stress compensation with an electromagnetically actuated microcantilever
PBN-AR
Instytucja
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki (Politechnika Wrocławska)
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
eng
Czasopismo
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL
ISSN
0925-4005
EISSN
Wydawca
DOI
URL
Rok publikacji
2015
Numer zeszytu
Strony od-do
566-573
Numer tomu
vol. 213
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
Słowa kluczowe
pol
dźwignia aktuowana elektromagnetycznie
siła Lorentza
naprężenia powierzchniowe
macierz Halbacha
tryb statyczny
Inne
System-identifier
000200281
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych