Development issue in mushroom-like profile fabrication in EBL double step exposure method
PBN-AR
Instytucja
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki (Politechnika Wrocławska)
Książka
Tytuł książki
The Tenth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems, ASDAM 2014 : conference proceedings, Smolenice, Slovakia, 20-22 October 2014
Data publikacji
2014
ISBN
9781479954742
Wydawca
IEEE
Publikacja
Główny język publikacji
eng
Tytuł rozdziału
Development issue in mushroom-like profile fabrication in EBL double step exposure method
Rok publikacji
2014
Strony (od-do)
57-60
Numer rozdziału
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0.3
Hasło encyklopedyczne
Słowa kluczowe
pol
elektronolitografia
podwójna ekspozycja
profil T-kształtny
litografia
Konferencja
Indeksowana w Scopus
tak
Indeksowana w Web of Science Core Collection
nie
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
ASDAM 2014
Nazwa konferencji
Tenth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems
Początek konferencji
2014-10-20
Koniec konferencji
2014-10-22
Lokalizacja konferencji
Smolenice
Kraj konferencji
SK
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Inne
System-identifier
000195674