A concept of fully integrated MEMS-type electron microscope
PBN-AR
Instytucja
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki (Politechnika Wrocławska)
Książka
Tytuł książki
2014 27th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC) : technical digest, July 6-10, 2014, Engelberg, Switzerland
Data publikacji
2014
ISBN
9781479953066
Wydawca
IEEE
Publikacja
Główny język publikacji
eng
Tytuł rozdziału
A concept of fully integrated MEMS-type electron microscope
Rok publikacji
2014
Strony (od-do)
77-78
Numer rozdziału
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0.3
Hasło encyklopedyczne
Słowa kluczowe
pol
minaturyzacja
mikroskop elektronowy
mikropompa
MEMS
Konferencja
Indeksowana w Scopus
tak
Indeksowana w Web of Science Core Collection
tak
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
IVNC 2014
Nazwa konferencji
27th International Vacuum Nanoelectronics Conference
Początek konferencji
2014-07-06
Koniec konferencji
2014-07-10
Lokalizacja konferencji
Engelberg
Kraj konferencji
CH
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Inne
System-identifier
000194328