Nowa testowa struktura laserowa SOI z krzemowym falowodem grzbietowym i wbudowaną diodą P+-i-N+ pompowana optycznie
PBN-AR
Instytucja
Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych (Politechnika Warszawska)
Książka
Tytuł książki
XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa, ELTE '2013
Data publikacji
2013
ISBN
978-83-64102-00-4
Wydawca
Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki
Publikacja
Główny język publikacji
pl
Tytuł rozdziału
Nowa testowa struktura laserowa SOI z krzemowym falowodem grzbietowym i wbudowaną diodą P+-i-N+ pompowana optycznie
Rok publikacji
2013
Strony (od-do)
267-268
Numer rozdziału
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0.3
Hasło encyklopedyczne
Konferencja
Indeksowana w Scopus
nie
Indeksowana w Web of Science Core Collection
tak
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
ELTE 2013
Nazwa konferencji
11th Electron Technology Conference
Początek konferencji
2013-04-16
Koniec konferencji
2013-04-20
Lokalizacja konferencji
Ryn
Kraj konferencji
PL
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Streszczenia
Język
pl
Treść
W ramach niniejszej pracy zaprojektowano topografię nowego typu struktury laserowej SOI z krzemowym falowodem grzbietowym i wbudowaną diodą P-i-N pompowanej optycznie. Zestaw masek składa się z sześciu poziomów masek fotolitogra�icznych i charakteryzuje się wymiarem krytycznym ~2 μm.
Inne
System-identifier
WUT394637