Gravimetric measurements with use of a cantilever for controlling of electrochemical deposition processes
PBN-AR
Instytucja
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
en
Czasopismo
Proceedings of SPIE
ISSN
0277-786X
EISSN
Wydawca
SPIE
DOI
URL
Rok publikacji
2016
Numer zeszytu
Strony od-do
1016107-1-8
Numer tomu
10161
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
Słowa kluczowe
en
Deposition processes ; Metals ; Platinum ; Polymers ; Sensors ; Silicon ; Gold ; Lasers ; Calibration
Konferencja
Indeksowana w Scopus
nie
Indeksowana w Web of Science Core Collection
tak
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
Nazwa konferencji
14th International Conference on Optical and Electronic Sensors COE 2016
Początek konferencji
2016-06-19
Koniec konferencji
2016-06-22
Lokalizacja konferencji
Gdańsk
Kraj konferencji
PL
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Streszczenia
Język
en
Treść
In this paper we describe the method for monitoring the progress of electrochemical deposition process. The procedure allows to control the deposition of metals as well as conductive polymers on metallic seed layer. The method is particularly useful to very thin layers (1-10 nm) of deposited medium which mechanical or optical methods are troublesome for. In this method deposit is grown on the target and on the test silicon micro-cantilever with a metal pad. Galvanic deposition on the cantilever causes the change of its mass and consequently the change of its resonance frequency. Changes of the frequency is measured with laser vibro-meter then the layer thicknesses can be estimated basing on the cantilever calibration curve. Applying this method for controlling of gold deposition on platinum seed layer, for improving the properties of the biochemical sensors, is described in this paper.
Cechy publikacji
ORIGINAL_ARTICLE
Inne
System-identifier
PX-583d66d082ceec2c8aff34b8
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych