A stand-alone compact EUV microscope based on gas-puff target source
PBN-AR
Instytucja
Instytut Optoelektroniki (Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego)
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
en
Czasopismo
JOURNAL OF MICROSCOPY
ISSN
0022-2720
EISSN
1365-2818
Wydawca
WILEY-BLACKWELL
DOI
URL
Rok publikacji
2016
Numer zeszytu
0
Strony od-do
1-10
Numer tomu
00
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
9.00
Słowa kluczowe
en
UV microscopy
Fresnel zone plate
gas-puff target
EUV source
imaging
Streszczenia
Język
en
Treść
We report on a very compact desk-top transmission extreme ultraviolet (EUV) microscope based on a laser-plasma source withadoublestreamgas-puff target, capableofacquiringmagnified images of objects with a spatial (half-pitch) resolution of sub-50 nm. A multilayer ellipsoidal condenser is used to focus and spectrally narrow the radiation from the plasma, producing a quasi-monochromatic EUV radiation (λ = 13.8 nm) illuminating the object,whereas a Fresnel zone plate objective forms the image. Design details, development, characterization and optimization of the EUV source and the microscope are described and discussed. Test object and other samples were imaged to demonstrate superior resolution compared to visible light microscopy.
Cechy publikacji
discipline:Elektronika
discipline:Fizyka
discipline:Inżynieria materiałowa
discipline:Electronics
discipline:Physics
discipline:Materials science
Original article
Original article presents the results of original research or experiment.
Oryginalny artykuł naukowy
Oryginalny artykuł naukowy przedstawia rezultaty oryginalnych badań naukowych lub eksperymentu.
Inne
System-identifier
PBN-R:756293
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych