Laser plasma sources of soft x-rays and extreme ultraviolet (EUV) for application in science and technology
PBN-AR
Instytucja
Instytut Optoelektroniki (Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego)
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
en
Czasopismo
PROCEEDINGS OF SPIE
ISSN
0277-786X
EISSN
Wydawca
DOI
URL
Rok publikacji
2015
Numer zeszytu
Strony od-do
95100Q
Numer tomu
9510
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
Słowa kluczowe
en
Biophysics
Extreme ultraviolet lithography
Gases
Image processing
Ionization
Ionization of gases
Laser applications
Laser beams
Laser materials processing
Laser produced plasmas
Laser pulses
Light sources
Mirrors
Multilayers
Neodymium lasers
Nozzles
Optical multilayers
Photoionization
Plasma interactions
Plasma sources
Pulse repetition rate
Pulsed lasers
Radioactivity
Radiography
Sun
Tomography
Ultraviolet lasers
X ray optics
Contact microscopy
EUV source
Extreme ultraviolets
Ionized plasmas
Laser plasma
radiobiology
Soft X-ray
Soft x-ray microscopy
Radiobiology
X ray radiography
Konferencja
Indeksowana w Scopus
nie
Indeksowana w Web of Science Core Collection
tak
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
Nazwa konferencji
EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space IV
Początek konferencji
2015-04-13
Koniec konferencji
2015-04-17
Lokalizacja konferencji
Praga
Kraj konferencji
CZ
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Streszczenia
Język
en
Treść
Laser plasma sources of soft x-rays and extreme ultraviolet (EUV) developed in our laboratory for application in various areas of technology and science are presented. The sources are based on a laser-irradiated gas puff target approach. The targets formed by pulsed injection of gas under high-pressure are irradiated with nanosecond laser pulses from Nd:YAG lasers. We use commercial lasers generating pulses with time duration from 1ns to 10ns and energies from 0.5J to 10J at 10Hz repetition rate. The gas puff targets are produced using a double valve system equipped with a special nozzle to form a double-stream gas puff target which secures high conversion efficiency without degradation of the nozzle. The use of a gas puff target instead of a solid target makes generation of laser plasmas emitting soft x-rays and EUV possible without target debris production. The sources are equipped with various optical systems, including grazing incidence axisymmetric ellipsoidal mirrors, a "lobster eye" type grazing incidence multi-foil mirror, and an ellipsoidal mirror with Mo/Si multilayer coating, to collect soft x-ray and EUV radiation and form the radiation beams. In this paper new applications of these sources in various fields, including soft x-ray and EUV imaging in nanoscale, EUV radiography and tomography, EUV materials processing and modification of polymer surfaces, EUV photoionization of gases, radiobiology and soft x-ray contact microscopy are reviewed. © 2015 SPIE.
Cechy publikacji
Original article
Original article presents the results of original research or experiment.
Oryginalny artykuł naukowy
Oryginalny artykuł naukowy przedstawia rezultaty oryginalnych badań naukowych lub eksperymentu.
Inne
System-identifier
PBN-R:698427
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych