Electromagnetic cantilever reference for the calibration of optical nanodisplacement systems
PBN-AR
Instytucja
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
angielski
Czasopismo
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL (35pkt w roku publikacji)
ISSN
0924-4247
EISSN
Wydawca
ELSEVIER SCIENCE SA
DOI
URL
Rok publikacji
2018
Numer zeszytu
Strony od-do
149-156
Numer tomu
282
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
Autorzy
Pozostali autorzy
+ 5
Autorzy przekładu
(liczba autorów przekładu: 0)
Słowa kluczowe
angielski
Deflection reference
MEMS actuator
Cantilever standard
Cantilever actuation
Lorentz force
Streszczenia
Język
angielski
Treść
Most commonly instruments utilizing cantilever-based sensors are equipped with optical beam deflection (OBD) detectors. The devices utilizing OBD setup are of simple construction, however it is quite difficult to calibrate their response. This is especially important for the instruments applied in biochemical investigation, where all the interesting phenomena happen within a fluidic cell. This limit comes from the fact than most common approach to calibrate an OBD system is to apply know deflection from a piezoelectric scanner and calibrate the OBD detector response. Here we present an electromagnetic cantilever reference which has the ability to overcome these limits. We show how its deflection can be precisely calibrated and then it can act as a transfer deflection standard. We do this by providing a calibration under known electromagnetic field and we analyze forces with a FEM model. We show that the proposed electromagnetic cantilever reference can be applied in a system with unknown response and accurately calibrate its response.
Cechy publikacji
ORIGINAL_PAPER
Inne
System-identifier
PX-5bbdbed3d5dea59911dc9882
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych