Simulation of near field exposition in UV lithography
PBN-AR
Instytucja
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki (Politechnika Wrocławska)
Książka
Tytuł książki
Optoelectronics and Microsystems Packaging : proceedings of 2018 International Students and Young Scientists Workshop : 22-24 November 2018, Dresden, Germany
Data publikacji
2019
ISBN
9788395133336
Wydawca
Wydawnictwo Gmork
Publikacja
Główny język publikacji
eng
Tytuł rozdziału
Simulation of near field exposition in UV lithography
Rok publikacji
2019
Strony (od-do)
114-119
Numer rozdziału
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0,4
Hasło encyklopedyczne
Słowa kluczowe
pol
litografia optyczna w bliskim polu
symulacje litograficzne
Konferencja
Indeksowana w Scopus
nie
Indeksowana w Web of Science Core Collection
nie
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
Nazwa konferencji
2018 International Students and Young Scientists Workshop "Optoelectronics and Microsystems Packaging"
Początek konferencji
2018-11-22
Koniec konferencji
2018-11-24
Lokalizacja konferencji
Dresden
Kraj konferencji
DE
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Open access
Tryb otwartego dostępu
Otwarte repozytorium
Wersja tekstu w otwartym dostępie
Wersja opublikowana
Licencja otwartego dostępu
Inna
Czas opublikowania w otwartym dostępie
Razem z publikacją
Data udostępnienia w sposób otwarty
Inne
System-identifier
000220854